Next Generation Imaging Equipment using Nano-electrons
中和科学株式会社は、LaB6(六ホウ化ランタン)のナノワイヤを用いたナノ電子源技術で世界の最先端をゆく企業です。
これは電子顕微鏡の性能を次世代のレベルに引き上げる能力を持った技術なのです。
電子顕微鏡で用いられる従来の電子銃は、低コストながら低分解能の、タングステンフィラメントによる熱電子銃が市場の8割を占め、高分解能のタングステン針状エミッタを持つ電界放射型電子銃(CFEG)は極高真空を必要とするため、コストが非常に高いものでした。
LaB6のナノワイヤをエミッタに組み込んだ新しいCFEGは、これら幅広いタイプの電子顕微鏡に適合し、より高いパフォーマンスを低コストで実現しました。
従来型のCFEGに比べ、サイズは40分の1、コストは10分の1
これは世界最小の電界放射型電子銃です。
極高真空を必要としないために、また、小型であるために、タングステンフィラメントの熱電子銃をLaB6ナノワイヤCFEGに組み替えるだけで、リーズナブルな卓上型SEM(走査型電子顕微鏡)でさえも瞬時に高分解能が得られます。
さらには5000時間に及ぶ試験中、その間プローブ電流の減衰が無いことも確かめられました。分解能だけでなく、より少ないエネルギーで、より長い稼働時間が得られるのです。
よりハイエンドな電子顕微鏡に組み込んだ場合にも、収差補正走査透過型電子顕微鏡において最高度の空間分解能、コントラスト解像度、エネルギー分解能が得られること、
電界放射型SEMにおいてはノイズが低減され、より速いEDX(エネルギー分散型X線分析)マッピングが可能で、そしてやはりプローブ電流の減衰がないことがわかっています。
熱電子放出型フィラメントと電界放射型エミッタのそれぞれの弱点を克服し、利点を併せ持つ
その世界随一の技術がここにあります。